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儀器型號Machine model

CNC-3020AH

CNC-4030AH

CMC-5040AH

工作臺 Work table

X/Y軸行程

X/Y axis travel

300*200

400*300

500*400

Z軸行程

Z axi travel

有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm,工作距離90mm.

Effective space is 245mm,focusing stroke is 200mm,and working distance is 90mm

金屬臺尺寸

Mental table dimension

450*350

550*450

700*600

玻璃臺尺寸

Glass table dimension

330*230

430*330

530*430

傳動型式

Drive type

X/Y/Z軸精密線性導(dǎo)軌/研磨級滾珠螺桿

X/Y/Z axis precision linear guide/grinding ball screw

測量伺服驅(qū)動系統(tǒng)

Measuring servo drive

system

金屬貼片尺分辨率：×/Y/Z軸0.0002mm(0.2um)

Optical  scale  resolution:X/Y/Zaxis  0.0002mm(0.2um)

測量精度：≤3um+L/200重復(fù)精度：≤3um

Measuring accuracy:≤3um+L/200 Repeatability accuracy:≤3um

X/Y/Z三軸高性能臺灣伺服電機，雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)

X/Y/Z three-axis high performance Taiwan servo motor,double closed loop control system

影像系統(tǒng)

Image system

攝像機：1/2高清數(shù)字相機，視頻放大倍數(shù)：28-165x

Camera:1/2 HD digital camera,video magnification number:28-165x

鏡頭：WM高清變倍鏡頭/連續(xù)放大倍率0.7-5.0x

Len:high definition zoom lens/Continuous magnification 0.7-5.0x

可配0.5x物鏡，總放大倍率：14-83x

Can match 0.5xobjective lens, total magnification:14-83x

可配2x物鏡，總放大倍率：56-330x

Can match 2xobjective lens,total magnification:56-330x

光源系統(tǒng)

Light system

表面光源與投射光源冷光源，壽命長，亮度可調(diào)

Surface light and projection light,cold light,long life,brightness adjustable

儀器外形尺寸

Machine external dimension

700*850*1650

800*900*1650

900*1050*1650

儀器重量(kg)

Machine weight(kg)

300

380

450