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儀器型號(hào)Machine model

VMS-2010F

VMS-3020F

VMS-4030F

VMS-5040F

工作臺(tái)

Work

table

X/Y軸行程

X/Y axis travel

200*100

300*200

400*300

500*400

Z軸行程

Z axi travel

有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm,工作距離90mm。

Effective space is 245mm,focusing stroke is 200mm,and working distance is 90mm.

金屬臺(tái)尺寸

Mental table dimension

350*220

450*350

550*450

700*600

玻璃臺(tái)尺寸

Glass table dimension

230*130

330*230

430*330

530*430

傳動(dòng)型式

Drive type

X/Y光桿傳動(dòng)，Z軸光軸傳動(dòng)X/Y axis rod drive, Z axioptical axi drive

測量伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

Measuring servo drive system

光學(xué)尺分辨率：X/Y/Z軸0.0005mm(0.5um)

Optical scale resolution:X/Y/Zaxis 0.0005mm(0.5um)

測量精度：≤3um+L/200重復(fù)精度：≤3um

Measuring accuracy:≤3um+L/200 Repeatability accuracy:≤3um

多功能數(shù)據(jù)處理器可測點(diǎn)，線，圈，圓，角度等。

Versatile data processor can measures points,lines,loops,circles,angles,etc

影像系統(tǒng)

Image system

攝像機(jī)：日本SONY CCD視頻放大倍數(shù)：20-240x    測量范圍：9.0mm-1.35mm

Camera:Japan SONY CCD Video magnification:20-240x Measurement range 9.0mm-1.35mm

鏡頭：WM高清變倍鏡頭/連續(xù)放大倍率0.7-4.5x

Len:WM HD zoom lens/continuous magnification 0.7-4.5x

可配0.5x物鏡，總放大倍率：10-120x

Can be equipped with 0.5xobjective lens, total magnification:10-120x 可配2x物鏡，總放大倍率：40-480x

Can be equipped with 2x objective lens, total magnification:40-480x

光源系統(tǒng)Light system

表面光源與投射光源冷光源，壽命長，亮度可調(diào)

Surface light and projectionlight,cold light,long life,brightness adjustable

儀器外形尺寸

Machine external dimension

500*700*1100

600*750*1100

700*900*1150

850*1050*1200

儀器重量(kg)

Machine weight(kg)

150

180

200

240